真空系統(tǒng)由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等部分組成。廣泛用于：電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。
    啟動(dòng)后，采用全自動(dòng)控制，工作過程中，真空系統(tǒng)內(nèi)的各處真空度（真空稀薄程度平均分布）始終保持在允許范圍，波動(dòng)范圍可以根據(jù)用戶要求加以調(diào)整。
    1臺(tái)真空泵啟動(dòng)后，無法達(dá)到設(shè)定所需真空時(shí)，2臺(tái)真空泵啟動(dòng)至達(dá)到設(shè)定的真空值；當(dāng)達(dá)到所需設(shè)定值后，1臺(tái)真空泵停止接著2臺(tái)真空泵停止循環(huán)工作。
    真空系統(tǒng)可以在無人操作情況下，自動(dòng)控制系統(tǒng)。停電時(shí)，可以自動(dòng)封閉真空系統(tǒng)。同時(shí)，控制箱可以保護(hù)真空泵馬達(dá)過載及短路情況的發(fā)生。
    投入正式生產(chǎn)使用前，仔細(xì)檢查各位置緊固件是否松動(dòng)，若有松動(dòng)，必須校正擰緊。開車前，將水箱加滿水，打開泵進(jìn)口閥，再運(yùn)行耐腐泵，嚴(yán)禁泵脫水空轉(zhuǎn)及反轉(zhuǎn)，防止損壞機(jī)封、葉輪、泵體其它部件。
    在真空系統(tǒng)停車前，先打開放空閥或等真空度降至0.092MPa以下，再停車。
    以防真空度過高形成倒吸損壞止回閥（止回閥失靈，打開止回閥蓋清除雜物），在使用汽水串聯(lián)噴射真空系統(tǒng)時(shí)，先開車，再打開蒸汽閥。停車時(shí)，先關(guān)閉蒸汽閥，再停車。防止溫度過高，損壞水噴射真空泵。
    真空系統(tǒng)在安裝蒸汽管路時(shí)，管路一定要保持水平，防止管內(nèi)有積水，否則將影響真空效果。水箱內(nèi)的循環(huán)水需要經(jīng)常更換或補(bǔ)充，盡量保持較底水溫，水溫過高會(huì)影響排氣量和真空度。
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